在一些特殊環(huán)境中所使用的精密小零件對(duì)其平面度誤差的要求十分嚴(yán)格。針對(duì)這種特殊小零件的平面度誤差測(cè)量，?？扑继岢霾捎酶呔葴u流位移傳感器，自動(dòng)連續(xù)多點(diǎn)對(duì)小零件的平面進(jìn)行測(cè)量，利用遺傳算法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，從而得到小零件的平面度誤差值。

  下圖為小零件平面度誤差測(cè)量儀，零件放置于工作臺(tái)上，使它可以沿X軸向?qū)к壓蚘軸向?qū)к夁M(jìn)行移動(dòng)，這樣就可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量。為防止零件的表面在測(cè)量過程中被劃傷，海科思有激光平面度測(cè)量儀，采用激光非接觸測(cè)頭代替探針來確保無劃傷精確測(cè)量，利用遺傳算法通過微機(jī)進(jìn)行處理，從而得到小零件的平面度誤差值。

   平面度誤差是指包容一個(gè)平面實(shí)際輪廓的兩個(gè)平行平面的小距離。海科思這種基于遺傳基因算法的小零件表面平面度測(cè)量方法，簡化了測(cè)量過程，實(shí)現(xiàn)了測(cè)量的自動(dòng)化，遺傳算法的使用，使得數(shù)據(jù)處理過程更為簡單，計(jì)算得到的平面度誤差值更為精確。這種測(cè)量方法可以應(yīng)用到多種工件平面度誤差的測(cè)量，根據(jù)用戶的實(shí)際測(cè)量需求，還可實(shí)現(xiàn)批量在線檢測(cè)，滿足了現(xiàn)代生產(chǎn)測(cè)量的需求。