壓電陶瓷元件平面度測(cè)量技術(shù)，?？扑加泻梅椒?/h1>

文章出處：網(wǎng)責(zé)任編輯：作者：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2020-02-07 17:04:00

 壓電陶瓷元件應(yīng)用場(chǎng)景非常廣泛，涵括但不僅限于半導(dǎo)體技術(shù)、光電子、通信與集成光學(xué)、光學(xué)儀器設(shè)備、納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化、航空航天、圖像處理等，壓電陶瓷元件可根據(jù)定制需求，做成不同的形狀來(lái)滿足定制規(guī)格。高規(guī)格的壓電陶瓷元件各項(xiàng)外觀尺寸精度要求都十分高，因?yàn)楦黜?xiàng)尺寸都會(huì)影響到壓電陶瓷元件的靈敏性，壓電陶瓷保證功能性其中一項(xiàng)指標(biāo)就是靈敏性，所以不單單是各項(xiàng)外觀尺寸精度要求高，而且還不能夠損傷到壓電陶瓷元件表面。壓電陶瓷元件很多時(shí)候需要做成一片片的外觀，這時(shí)候就需要測(cè)量它的平面度了，但是如果使用塞尺測(cè)量平面度必定會(huì)磨損壓電陶瓷片的表面形貌，影響其靈敏度，而且塞尺的精度也會(huì)隨著塞尺自身的磨損導(dǎo)致精度不足，但是現(xiàn)在?？扑加懈玫姆椒▉?lái)測(cè)量壓電陶瓷的平面度。

 

?？扑嫉?/span>激光平面度測(cè)量?jī)x采用非接觸式測(cè)量，測(cè)量壓電陶瓷片平面度精度高還不會(huì)破壞其表面形貌，保證了PCB屏蔽蓋的完整性，不影響性能。激光平面度翹曲度測(cè)量?jī)x可實(shí)現(xiàn)對(duì)平面的多點(diǎn)掃描或線掃描，一次性數(shù)據(jù)采集后通過(guò)軟件計(jì)算，實(shí)時(shí)給出平面度平整度翹曲度誤差測(cè)量判定，測(cè)量壓電陶瓷片的平面度更加直觀與簡(jiǎn)單。

 

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