液晶玻璃基板平行度及翹曲度的測(cè)量

   液晶玻璃基板是液晶平板顯示器的重要組成部分，具有十分廣闊的發(fā)展前景。目前液晶玻璃基板高端領(lǐng)域的國產(chǎn)化進(jìn)行得如火如荼。

   TFT-LCD用玻璃基板與傳統(tǒng)的平板玻璃有本質(zhì)的區(qū)別，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有非常嚴(yán)格的要求，是資本、技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)。

   高性能顯示器制造工藝包括多次精密光刻，要求基板外形尺寸加工精度達(dá)到0.1 mm誤差。液晶顯示對(duì)基板玻璃平整度的要求甚高?；宀ＡУ钠秸戎苯佑绊懰@示圖形的質(zhì)量。

   基板玻璃平整度測(cè)量的參數(shù)包括：1.玻璃表面粗糙度；2.玻璃表面波紋度；3.玻璃表面翹曲度；4.玻璃表面平行度。

1.玻璃表面粗糙度：玻璃表面粗糙度是反映表面形態(tài)的一個(gè)重要參數(shù)。粗糙度將影響在基板玻璃上進(jìn)行涂膜和光刻的質(zhì)量，引起分子排列畸變，從而影響液晶顯示的質(zhì)量。

2.玻璃表面波紋度：表面波紋度是反映玻璃表面平整度的重要參數(shù)之一。較大的波紋度會(huì)造成光刻時(shí)底片與基板玻璃不能貼緊，形成虛光，使光刻分辨率下降，邊緣不齊；在封裝、灌注液晶后，會(huì)使液晶層厚度波動(dòng)，引起顯示不均勻，甚至出現(xiàn)彩色干涉條紋，影響圖像質(zhì)量。

3.液晶玻璃基板表面翹曲度的測(cè)量：由于基板玻璃與底片吸附不緊，使光刻圖形邊緣不齊，分辨率下降。過大的翹曲度不利于大面積封裝。

4.液晶玻璃基板平行度、垂直度、直線度測(cè)量：液晶基板玻璃平行度的測(cè)量、垂直度測(cè)量、直線度的測(cè)量是衡量玻璃厚度均勻性的重要參數(shù)?；宀ＡШ穸炔痪鶆驎?huì)造成制造液晶顯示器的過程中加壓不均勻，造成次品和廢品。

    為了避免不良情況的發(fā)生，使用?？扑家壕РＡЩ鍦y(cè)量儀對(duì)以上參數(shù)進(jìn)行測(cè)量監(jiān)控是非常重要的。

    ?？扑即笮谐虦y(cè)量儀系列機(jī)器能滿足以上測(cè)量需求。專利的三角橫梁技術(shù)，保證機(jī)器佳的剛性質(zhì)量比，精度更穩(wěn)定；德國HEIDENHAIN工業(yè)級(jí)四軸CNC控制系統(tǒng)，全伺服閉環(huán)控制，全自動(dòng)測(cè)量功能；空間面補(bǔ)償，保證機(jī)器的高精度；專利的預(yù)載荷空氣軸承，全氣浮導(dǎo)軌技術(shù)的應(yīng)用，同時(shí)采用研磨級(jí)絲杠傳動(dòng)，高速、無間隙、靈敏可靠、定位準(zhǔn)確、運(yùn)動(dòng)精度高。